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氣體流量計/控制器HFM-201/HFC-203

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氣體流量計/控制器HFM-201/HFC-203


HFM-201氣體流量計HFC-203 氣體流量控制器
范圍(用戶可選)(L): 0 - 25 slm to 0 - 500 slm (N2)
     (H): 0 - 500 slm to 0 - 1000 slm (N2)
(L): 0 - 25 slm to 0 - 500 slm (N2)
     (H): 0 - 500 slm to 0 - 1000 slm (N2)
精度滿量程的+ 1%滿量程的+ 1%
重復(fù)性滿量程的+ 0.05%滿量程的+ 0.05%
最大工作壓力500 PSIG (可選1000 PSIG)500 PSIG (可選1000 PSIG)
模擬量輸入/輸出 (標(biāo)準(zhǔn))0 - 5 VDC0 - 5 VDC
模擬量輸入/輸出 (可選)4 - 20 mA輸入和輸出,
     0 - 20 mA, 
     0 - 5 VDC輸入/ 4 - 20 mA輸出
4 - 20 mA輸入和輸出,
     0 - 20 mA, 
     0 - 5 VDC輸入/ 4 - 20 mA輸出
接口選項VCR?, VCO?, Swagelok?, 直螺紋, NPTVCR?, VCO?, Swagelok?, 直螺紋, NPT
電氣連接 (+/- 15 VDC)
     電氣連接 (+24 VDC)
D型15針      D型9針D型15針      D型9針
電源(+/- 15 V)      
     電源(+24 V)
+ (14 -    16) VDC @ +30 mA (<1 W)
     (14 - 32) VDC (<1.9 W)
+ (14 -    16) VDC @ +60 mA / -185 mA (<3 W)
     (14 - 32) VDC (<4.2 W)
濕液材質(zhì)316L SS, Viton?, 82/18 Au/Ni Braze, Trace Ag Solder302 SS, 316 SS, Nickel, Viton?, 82/18 Au/Ni Braze,    Trace Ag Solder, Kalrez? (閥座)
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