真空范圍 | 0.1 mTorr - 1000 Torr | |
精度 | 10 Torr - 1000 Torr, 1 mTorr - 10 Torr, 0.2 mTorr - 1 mTorr | +(0.1%的讀數(shù) +0.3 Torr), +(5%的讀數(shù) +0.25 mTorr), +(10%的讀數(shù)+0.25 mTorr) |
操作溫度 | -20-70oC | |
模擬信號輸出(電壓) | 0-1 VDC,0-5 VDC, 0-10 VDC 線性和對數(shù) | |
模擬信號輸出(電流) | 0-20 mA, 4-20 mA | |
電源電壓 | 12-36 VDC | |
接液材質 | 304和316L不銹鋼,玻璃, 鎳,金 | |
過程控制的設定值 | 雙TTL (高低報警) |