什么是質(zhì)量流量計(jì)?什么質(zhì)量控制器?
質(zhì)量流量計(jì)(Mass Flow Meter) MFM,是一種測(cè)量氣體流量的儀表,測(cè)量值是不因?yàn)榄h(huán)境壓力和溫度的變化而改變,不需要溫度壓力的補(bǔ)償。質(zhì)量流量計(jì)只是測(cè)量不控制。
質(zhì)量流量控制器(Mass Flow controller) MFC,是一種直接測(cè)量氣體的質(zhì)量流量并且進(jìn)行流量控制的儀表設(shè)備,不因?yàn)榄h(huán)境溫度和使用壓力的變化而改變,不但具有測(cè)量質(zhì)量的功能,更重要的它可以自動(dòng)控制氣體流量,用戶可以根據(jù)需要進(jìn)行流量設(shè)定,帶控制閥門(mén),既可以測(cè)量也可以控制氣體流量的大小。